DEPOSIÇÃO A PLASMA COM GAIOLA CATÓDICA DE NITRETO DE NIÓBIO (NbN) EM AÇO AISI 316 E O EFEITO CÁTÓDO-OCO.
Nióbio, efeito cátodo-oco, nitretação, plasma.
Filmes finos de NbN (Nitreto de Nióbio) foram depositados sobre o substrato aço ASIS 316 aplicando um potencial elétrico continuo sobre uma gaiola catódica de Nb. Essa técnica foi escolhida por conveniência em relação as outras técnicas como Solgel, PECVD, dip-coating e magnetron sputtering. O sistema foi configurado com catodo oco cilíndrico polarizado com tensão DC média de 690 V, corrente de 0,64 A, temperatura de trabalho 723,33 K e fluxo de uma mistura gasosa de N 2 em 80% sccm e H 2 20% sccm à uma pressão de 10 2 Pa por período de 4 horas de sputtering. Um jato de plasma de N 2 + H 2 extraí átomos do catodo, que são depositados sobre o substrato ASIS 316, posicionado frontalmente à uma distância de 10 e 50 mm. Em relação aos parâmetros do plasma e sua influência sobre as propriedades dos filmes depositados, as amostras foram caracterizadas por MEV e AFM para discriminar sua uniformidade e morfologia. Para análise qualitativa das fases presentes nos filmes se aplicou XRD, e para se avaliar a estrutura química do material, processos de cristalização e polimorfismo se aplicou espectroscopia Raman. Em seguida, propor modificações na estrutura da tela ativa com a finalidade reduzir os impactos provocados pelo efeito catodo oco como o aquecimento elevado das regiões côncavas ou com orifícios. Dessa forma, se espera reduzir o tempo de tratamento, camadas homogêneas, melhoria das propriedades tribológicas e sem defeitos como o efeito de borda.